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　　　　光刻技术早在1960年代就被发明出来，但直到1978年，美国gca公司才推出现代意义的自动化步进式光刻机。所谓步进式，就是每次曝光时，不曝光整个晶圆，而是一部分一部分地曝光。在这过程中，晶圆台不断移动。此后，光刻机的发展总体沿着步进式的路线不断向前。根据光刻机选用光的种类、透镜镜头数值孔径的不同，光刻的精度在不断提高。